熱反射式激光共聚焦顯微鏡

簡要描述：CTRM 700激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司研發的一款熱反射式激光共聚焦顯微鏡，集熱成像與高速3D激光共聚焦顯微鏡于一體，可以在同時觀察樣品的熱成像與三維形貌。

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詳細介紹

CTRM700 是韓國?????所研發并由韓國Nanoscope Systems 進行商業化運營的熱反射式激光共聚焦顯微鏡。

CTRM 700熱反射式激光共聚焦顯微鏡利用的是激光共聚焦掃描的方法測量樣品表面或內部特定表面上溫度變化引起的反射率變化的分布來獲取樣品的熱分別圖像。

Principles & Benefits（性能及優勢）：

熱反射顯微鏡（Thermal Reflectance Microscope) 是一種基于測量樣品表面光反射率變化而測量樣品溫度變化的一種技術。

共聚焦熱反射顯微技術是一種激光掃描共聚焦方法，它可以在局部區域獲得比傳統熱成像技術（紅外成像技術）更高分辨率的熱成像圖像。

Application field（應用領域）：

半導體器件熱特性的測量與分析：

-柔性顯示面板缺陷檢查

-OLED內部缺陷檢查

-高輸出功率裝置發熱特性的測量與分析

-傳感器單元的紅外圖像分析

-氧化物薄膜晶體管的熱特性

-3D堆疊半導體熱特性的測量分析

-OLED 器件的熱特性分析

-氣體傳感器的MEMS裝置的熱特性測量和分析

-InGaZnO薄膜晶體管的發熱特性及可靠性分析

Specification（規格）

Model	Microscope CTRM 700
物鏡倍率		10x	20x	50x	100x
觀察/ 測量范圍	水平 (H): μm	1400	700	280	140
	垂直 (V): μm	1050	525	210	105
工作范圍: mm		16.5	3.1	0.54	0.3
數值孔徑(N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95
光學變焦		x1 to x6
觀察/測量光學系統		針孔共聚焦光學系統
測量高度		7 mm
分辨率	橫向分辨率	0.3 μm
	軸向分辨率	0.8 μm
熱分辨率		1℃
Image size	共聚焦模式	1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
	熱成像模式	1024x768
幀速率	共聚焦模式	10 Hz to 160 Hz
	熱成像模式	0.3 Hz
激光共焦測量光源	波長	638 nm
	輸出	~2mW
	激光等級	Class 3b
光學顯微鏡光源	LED	10W
光學觀察照相機	成像元件	1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器
	記錄分辨率	640x480
數據處理單元		PC
電源	電源電壓	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	電流消耗	500 VA max.
重量	顯微鏡	Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~14 kg)
	控制器	~8 kg

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